半导体生产排放的废气和废水中砷、磷、硫的分析方法研究

论文类型	基础研究	发表日期	2003-11-01
来源	重庆环境科学
作者	闻瑞梅,邓守权,张亚峰,范伟
关键词	高温氢还原-气相色谱砷磷硫分析方法
摘要	研究了一种快速、灵敏、可靠的高温氢还原2气相色谱分析方法[1- 2 ],并自行设计了高温还原系统(还原炉、六通阀等), 测定半导体生产排放废气和废水中的砷、磷、硫及其化合物, 样品不需预处理, 使气相色谱仪能直接测定固、液、气相样品中砷、磷、硫及其化合物的含量。砷、磷、硫的检测限分别为0.01mg/L、0. 003mg/L 、0. 02mg/L ; 相对标准偏差分别为6. 2%、8. 6% 和0. 3% , 与经典方法进行对比, 结果基本一致。从分析方法的误差统计角度, 也说明该方法准确、可靠。

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