VLSI超纯水站设计

论文类型	技术与工程	发表日期	2001-03-01
来源	《中国给水排水》2001年第3期
作者	刘建伟,莫德举,寇玉香
关键词	超纯水站设计工艺设备选型
摘要	刘建伟1，莫德举1，寇玉香2 (1.北京化工大学信息科学与技术学院，北京100029；2.新疆维吾尔自治区农科院，新疆乌鲁木齐830000) 　　摘　要：介绍了清华大学微电子所VLSI超纯水站工艺设计思想及设备选型，并阐明了对关键设备选型及材质的技术要求。　　关键词：超纯水站；设计；工艺；设 ...

下载文档

论文搜索

很多时候您的文章总是无缘变成铅字。研究做到关键时，试验有了起色时，是不是想和同行探讨一下，工作中有了心得，您是不是很想与人分享，那么不要只是默默工作了，写下来吧！投稿时，请以附件形式发至 paper@h2o-china.com ，请注明论文投稿。一旦采用，我们会为您增加100枚金币。